肖夏

2002年3月毕业于德国开姆尼茨工业大学电子与信息技术学院，获博士学位。教育部新世纪优秀人才支持计划入选者。2002年4月至2003年3月为日本国立产业技术综合研究所先进半导体研究中心博士后。2006年8月受聘日本广岛大学纳米器件与系统研究中心客员教授。任IEEE会员，中国电子学会高级会员，日本电子情报通讯学会会员，中国微米纳米技术学会会员。担任多个国际会议的技术委员会委员及分会场主席。受邀为MaterialsResearchBulletin、AppliedSurfaceScience、ChinesePhysicsLetters,IEEEBMEI,IEEEICSICT,IEEEICUWBIEEEICCAS等国际期刊和会议审稿；国家自然科学基金等评审专家；担任IEEEICSICT2010、IEEEICUWB2010,IEEEICIE2010/IWEEC2010技术委员会委员及SOPO2009,ICMMT2008等多个国际会议的分会场主席.2006年8月受聘为日本广岛大学纳米器件与生命系统研究中心海外客员教授。

半导体敏感器件，超大规模集成电路布线系统仿真，固态电子器件（双语），理论物理。

超大规模集成电路互连布线系统；超宽带微波探测目标成像；MEMS设计与模拟。 

已发表学术论文60余篇，其中SCI检索16篇（SCI二区4篇），EI检索32篇，出版书籍1本，授权日本发明专利1项。SCI文章引用50余次。

代表著作

1)X.Xiao,X.M.Shan,Y.Kayaba,etal.,Young'sModulusEvaluationbySAWsforPorousSilicaLow-kfilmwithCesiumDoping,MicroelectronicEngineering88(2011),pp.666-670.

2)XingmengShan,XiaXiao,YaliangLiu,DeterminationofYoung’smodulusandpoisson’sratioofnanoporouslow-kthinfilmbylaser-generatedsurfaceacousticwaves,AdvancedScienceLetter,4,(2011),pp.12301234.

3)S.Kubota,X.Xiao,N.Sasaki,T.Kikkawa,etal.,ConfocalImagingUsingUltraWidebandAntennaArrayonSiSubstratesforBreastCancerDetection，Jpn.J.Appl.Phys.,Vol.49,No.9,2010,097001.

4)XiaoXia，ShanXingmeng，LiuYaliang，EvaluatingofAdhesionPropertyofULSIInterconnectFilmsbytheSurfaceAcousticWaves，ChinesePhysicsLetter,27(1)(2010)018502.

5)ShanXingmeng，XiaoXia，LiuYaliang,DeterminationofYoung'sModulusandPoisson'sRatioofNanoporousLow-kThinFilmbyLaser-GeneratedSurfaceAcoustic,AdvancedScienceLetters,Vol.4,pp.1-5,2011.

6)XiaXiaoandTakamaroKikkawa,InfluenceoftheOrganismInterfaceontheBreastCancerDetectionbyUWB,AppliedSurfaceScience,255(2),2008,pp.597-599.

7)XiaXiaoandTakamaroKikkawa,EarlyBreastCancerDetectionbyUltra-wideBandImagingwithDispersionConsideration,Jpn.J.Appl.Phys.,47(4)(2008)3209-3213.

8)XiaXiao,XueyiYou,Thedeterminationfortheadhesionoffilmandsubstratebysurfaceacousticwaves,Surface&CoatingsTechnology,201,2007,9594–9597.

9)肖夏,尤学一,姚素英,表征ULSI互连纳米薄膜硬度特性的超声表面波沿任意方向传播的频散特性,物理学报，2007，Vol.56No.4.pp.2428-2433.

10)闫阳，肖夏，姚素英，郑云光，张寅辰，高性能视觉半导体光电探测器设计及温度特性研究，光电子×激光，Vol.18,No.1,2007，pp.46-48.

11)XiaXiao,XueyiYou,NumericalstudyonsurfaceacousticwavemethodfordeterminingYoung'smodulusoflow-kfilmsinvolvedinmulti-layeredstructures,AppliedSurfaceScience,Vol.253,2006,pp.2958–2963.

12)XiaXiao,XueyiYouandSuyingYao,TheoreticalStudyofMechanicalPropertiesofMulti-layerULSIInterconnectDielectricsbySurfaceAcousticWaveMethod,MicroelectronicsJournal,37(10),2006,pp.1052-1055.

13)XiaXiao,SuyingYaoandGangRuan,TheInfluenceoftheInterconnectionConfigurationontheThermalDissipationoftheULSIInterconnectSystems,ChineseJournalofSemiconductors,27(3),2006,pp.516-523.

14)肖夏,姚素英,阮刚,表面波表征ULSI互连布线双层薄膜机械特性的理论计算,电子学报,34(5),2006,774-777.

15)李志国,肖夏,张鑫慧,姚素英,表征ULSI低介电常数互连材料机械特性的表面波频散特性,半导体学报,26(10),2005,pp.2032-2037.

16)X.Xiao,N.Hata,K.YamadaandT.Kikkawa,Mechanicalpropertydeterminationofthinporouslow-kfilmsbythetwin-transducerlasergeneratedsurfaceacousticwaves,Jpn.J.Appl.Phys,Vol.43,No.2,2004,pp.508-513.

17)X.Xiao,N.Hata,K.YamadaandT.Kikkawa,MechanicalPropertiesofPeriodicPorousSilicaLow-kFilmsdeterminedbytheTwin-transducerSurfaceAcousticWaveTechnique,ReviewofScientificInstruments,Vol.74,No.10,2003,pp.4539-4541.

18)X.Xiao,X.You,G.Ruan,CompactQuasi-analyticequationsforestimatingthetemperaturedistributionofULSIinterconnects,MicroelectronicEngineering,Vol.60,No.3-4,2002,pp.415-428.

19)X.Xiao,R.Streiter,H.Wolf,G.Ruan,C.Murry，T.Gessner,SimulationforDielectricConstantofAerogelandEstimationofTheirWaterContent,MicroelectronicEngineering,Vol.55,No.1-4,2001,pp.53-57.

20)X.Xiao,R.Streiter,G.Ruan,R.Song,T.Otto，T.Gessner,ModelingandSimulationforDielectricConstantofAerogel,MicroelectronicEngineering,Vol.54,No.3-4,2000,pp.295-301.

在研项目

1)教育部新世纪优秀人才计划项目，2009-2011年。

2)国家自然科学基金项目：表面波无损表征ULSI铜与低介电常数介质布线薄膜机械特性与粘附性的研究，2009-2011年。

3)天津市应用基础及前沿技术研究计划重点项目：集成电路Cu/low-k互连薄膜机械可靠性研究，2010-2013年。

4)毫米波国家重点实验室重点课题：早期乳腺肿瘤的超宽带电磁波成像诊查研究，2009-2011年。

已完成项目

1)国家自然科学基金:表面波方法研究集成电路互连布线的纳米多孔介质硬度特性，2005-2007。

2)天津市自然科学基金项目:高效纳米晶体硅量子点冷电子场致发射显示器件研究，2004-2006年。

3)RF图像处理研究,骏升科技，2009-2010。

4)教育部留学回国人员科研启动基金：表面波方法研究超大规模集成电路低介电常数薄膜的物理特性，2005-2007年。

5)国家外专局引智项目：超大规模集成电路现代互连介质的特性研究，2005年。

6)天津市外专局引智项目：高效纳米硅量子点电子发射极的研发，2004年。

7)天津大学自主创新人才项目：早期乳腺肿瘤的超宽带微波成像技术研究，2010年。

8)天津大学面向21世纪教育振兴行动计划建设项目：超大规模集成电路多孔低k介电薄膜的研制及其机械特性先进评价系统的建立，2003-2006年。

1.2008年入选教育部新世纪优秀人才；

2.2008年度天津大学本科毕业设计优秀指导教师；

3.第7届固态电子学与集成电路技术国际会议，优秀论文奖，2004年10月；

4.多孔低介电常数薄膜的结构物性评价技术开发，日本MIRAI优秀奖，2003年4月。